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第503章 时间就是金钱!特种气体之难 (第3/8页)
九九九。 特种气体的纯度越高,越有利于芯片加工生产,可以大大提高芯片的良品率。 可是纯度已经很高的气体,再想进一步的提纯,难度实在是太大了。 就像一张满分是一百的试卷。 从六十分及格,努力学习考到九十分并不难,因为提升空间很大。 再努努力,从九十分提升到九十五分,也并非不可能。 但九十五分以上,想一题不错的考个满分,就真是太难了。 什么电解法、化学法、吸附法、精馏法等等,各种方式方法看似不少。 但不同的方法,需要不同的设备和工艺,里面的门道实在是太多了。 就像同样是电解法,需要的直流电应该多大电流?多高电压?作用多长时间才能确保氧化还原最佳? 而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等,又需要用什么样的催化剂、在怎样的容器中进行反应? 而且吸附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气体,吸附装置、吸附材料、吹扫设备等等,也需要很考验技术功底。 至于膜分离、气体分离、冷冻分离、催化分离等等手段,对没从事过相关研究的人来说,那就更是难以想象的困难了。 然而…… 如何提纯获得超高纯度的特种气体,就已经技术门槛很高,需要耗时多年进行潜心研究、不断改进。 而除了制取难、提纯难之外,特种气体的存储与运输,也是一大难题。 用于存储运输的钢瓶,不仅要承受足够的压强、经得起腐蚀、扛得住温差,关键还是要足够的干净。 这种‘干净’,可以说几乎要不含一丁点杂质。 公司经过很多研究试验,才摸索出了钢瓶的加工制造方法。
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